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產(chǎn)品列表 / products

日本ULVAC CFB-2000Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)資料

更新時(shí)間:2015-12-28 點(diǎn)擊量:1032

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無(wú)油的高真空環(huán)境,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車(chē)等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        

  • 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

 

三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-2000Z

進(jìn)氣口法蘭

LF250

CF250

排氣口法蘭

KF50

抽氣速率

L/s

2000

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

24000

振動(dòng)值

μm

≤0.1

啟動(dòng)時(shí)間

min

<6

使用軸承

脂潤(rùn)滑陶瓷軸承

前極泵

L/s

15

冷卻方式

水冷(風(fēng)冷)

冷卻水溫度

≤25

環(huán)境溫度

<40

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

任意角度

重量

kg

~30

 


三、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

 CFB-2000Z安裝尺寸

 

型號(hào)規(guī)格

CFB-2000Z

高真空法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф295

Ф295

D3

274

274

L1

114

114

H1

317

317

H2

262

262

H3

97.5

97.5

H4

282

282

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